金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“检测平行光路平行半角和光偏角的检测装置和检测系统”的专利，授权公告号 CN 222337460 U，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本实用新型公开了检测装置和检测系统，其中，检测装置包括壳体、检测光路和测量模块，壳体限定出容纳空间，壳体上具有输入孔，在检测时平行光路的光通过输入孔垂直摄入容纳空间；检测光路位于容纳空间内，用于将输入孔垂直摄入的光垂直投射至检测区域；测量模块位于检测区域，用于根据垂直投射至检测区域的光斑获得用于计算平行光路平行半角和光偏角的检测数据。该检测装置可以直接用于检测接近式曝光机的平行光路的平行半角和光偏角，提高接近式曝光机光路装配精度。

　　天眼查资料显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司，成立于2015年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本13141.9086万人民币，实缴资本7833.8721万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目131次，知识产权方面有商标信息25条，专利信息335条，此外企业还拥有行政许可18个。